什么是靶材綁定？在靶材鍍膜時，有時候會把靶材綁定在一個背靶上，用焊料將靶材與背靶焊接起來，這叫“靶材綁定”。一般的靶材會將其綁定在銅背靶上，旋轉(zhuǎn)靶材會綁定在不銹鋼襯管上，下面巨偉鈦業(yè)就來具體介紹下靶材綁定的方式、作用及流程的內(nèi)容。

一、靶材綁定的方式

靶材綁定的方式主要有三種，壓接、釬焊和導(dǎo)電膠。

1、壓接：采用壓條, 一般為了提高接觸的良好性，會增加石墨紙、Pb或In皮。

2、釬焊：一般使用軟釬料的情況下，釬料常用In、Sn、In-Sn，要求濺射功率小于20W/cm2。

3、導(dǎo)電膠：采用的導(dǎo)電膠要耐高溫，厚度在0.02-0 05微米。

二、靶材綁定的作用

1、防止靶材受熱不勻碎裂。例如ITO、SiO2、陶瓷等脆性靶材及燒結(jié)靶材受熱容易碎裂；

2、節(jié)省成本，防止變形。如靶材太貴，可將靶材做薄些，綁定背靶以防止變形。

三、靶材綁定的流程

1、綁定前將靶材和背靶表面預(yù)處理；

2、將背靶固定放置在加熱臺上，將靶材放于背板上，升溫到綁定溫度；

3、將靶材和背靶金屬化，通過釬焊將靶材貼合在銅背板上；

4、粘接靶材和背靶，靶材的遠(yuǎn)離銅背板的表面上放置配重塊，待靶材冷卻后取下配重塊步驟；

5、降溫和后處理。

四、靶材綁定的范圍

技術(shù)上來說表面平整可進(jìn)行金屬化處理的靶材都可以用釬焊綁定技術(shù)綁定銅背靶，來提高濺射過程的散熱性、提高靶材利用率。建議綁定的靶材： ITO、SiO2、陶瓷脆性靶材及燒結(jié)靶材； 錫、銦等軟金屬靶；靶材太薄、靶材太貴的情況等。但下列情況綁定有弊端： 

1、熔點低的靶材，像銦、硒等，金屬化的時候可能會變軟變形；

2、貴金屬靶材，一是實際重量易出現(xiàn)分歧，二是金屬化以及解綁的時候都會有浪費料，建議墊一片銅片。

五、綁定靶材的使用注意事項

1、濺射溫度不宜太高；

2、電流要緩慢加大；

3、循環(huán)冷卻水應(yīng)低于35攝氏度；

4、適宜的靶材致密度。

六、背靶的選擇

1、對材質(zhì)的要求：一般選用無氧銅和鉬靶。

2、導(dǎo)電性好，常用無氧銅，無氧銅的導(dǎo)熱性比紫銅好；

3、厚度適中，般建議背靶厚度3mm左右。太厚，消耗部分磁強(qiáng)；太薄，容易變形。

4、結(jié)構(gòu)要求空心或者實心結(jié)構(gòu)。

5、強(qiáng)度足夠，太薄，易變形，不易真空密封。

七、背靶脫落的原因

1、濺射溫度高，背靶易被氧化和發(fā)生翹曲，靶材在高溫濺射時會開裂，造成背靶脫落；

2、電流太大，導(dǎo)熱太快造成溫度過高，焊料熔化，造成焊料不均勻，造成背靶脫落；

3、循環(huán)冷卻水出水口的溫度應(yīng)低于35攝氏度，循環(huán)水溫度高，造成散熱不好而脫落；

4、靶材本身的致密度，靶材的致密度很高時，不易吸附，無空隙，背靶易脫落。

以上是關(guān)于什么是靶材綁定的回答，簡單說，靶材綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。方式主要有壓接、釬焊和導(dǎo)電膠三種方式。靶材綁定的作用是防止靶材受熱不勻碎裂，防止變形。另外還補(bǔ)充了綁定的流程、范圍等內(nèi)容，希望能讓大家更好的了解靶材綁定。寶雞巨偉鈦業(yè)有限公司是一家研發(fā)生產(chǎn)鈦靶、鉻靶、鋯靶、鎳靶、鈦鋁靶、鈦絲、鈦加工件、鈦鍛件等金屬材料為主的高新技術(shù)企業(yè)，十余年專注于濺射靶材、鍍膜靶材、平面多弧靶材研發(fā)、生產(chǎn)，靶材組織結(jié)構(gòu)均勻、濺射成膜性能優(yōu)異，如果您對靶材有疑問或需要，歡迎聯(lián)系巨偉鈦業(yè)。

相關(guān)鏈接